Сверхвысоковакуумная система PV022

Производитель: Prevac
Адаптируемая к требованиям заказчика многокамерная сверхвысоковакуумная система для анализа атомной и электронной структуры поверхности, исследования и приготовления сложных эпитаксиальных металлических или молекулярных пленок на различных поверхностях,

Описание

Адаптируемая к требованиям заказчика многокамерная сверхвысоковакуумная система для  анализа атомной и электронной структуры поверхности, исследования и приготовления сложных эпитаксиальных металлических или молекулярных пленок на различных поверхностях, а также для химического анализа поверхностей раздела в образцах многослойных пленок. Установлена в Институте исследования твердых тел Общества Макса Планка.

Спецификации

Многокамерная система построена вокруг центральной камеры радиального распределения с присоединенными аналитическими камерами и подготовительными камерами, выполняющими функции транспорта образцов в условиях сверхвысокого вакуума (давление менее 10-10мБар). Базовое давление в аналитических камерах <5*10-11мБар. Центральная камера радиального распределения присоединена ко второй камере такой же конструкции через камеру ре-ориентации. Вторая система позволяет осуществить соединение с коммерческой высокопроизводительной XPS системой и получить доступ ко второй подготовительной камере, загрузочному шлюзу и камере хранения образцов.


  • Многофункциональная аналитическая камера, объединяющая несколько методов анализа поверхности: рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS), монохроматическая ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия (UPS), спектроскопия ионного рассеяния (ISS) и оже-электронная спектроскопия (AES). Позиционирование образцов осуществляется стабильным высокоточным 5-осевым манипулятором с 2 моторизированными поворотными осями. Приемная станция для образцов оснащена LN2 криостатом, который позволяет изменять температуру в диапазоне от -1800 С до 10000 С. Камера изготовлена из никелевого сплава и оснащена полусферическим анализатором, источником рентгеновского излучения, УФ источником с монохроматором, источником электронов и считывающим электронным прожектором. Гибкая конструкция позволяет легко модифицировать установку в соответствии с будущими научными задачами.
  • 5-осевой манипулятор и специализированное ПО позволяют получать данные рентгеновской фотоэлектронной дифракции (XPD) с угловым разрешением и повторяемостью лучше, чем 0,1 градус
  • Камера для инфракрасной спектроскопии (FT-IR) с коммерческим ИК-спектрометром, который также может использоваться в качестве отдельного прибора. Образец может быть нагрет и охлажден во время проведения измерений. Также камера оснащена устройством газового дозирования и электронно-лучевым испарителем для подготовки образцов на месте.
  • Трехуровневая подготовительная камера, оборудованная LEED , ионным источником, электронно-лучевым испарителем, ячейками Кнудсена и большим числом портов, которые могут быть использованы для дальнейшего расширения возможностей установки
  • Камера хранения образцов с 6 держателями образцов

Загрузочный шлюз с отсоединяемым перчаточным ящиком для упрощения загрузки образцов и их подготовки в атмосфере с пониженным содержанием кислорода и влажностью.