Сверхвысоковакуумная система PV097

Производитель: Prevac
Многокамерная сверхвысоковакуумная система предназначена для исследования поверхностей твердых и порошкообразных образцов методами электронной спектроскопии

Описание

Многокамерная сверхвысоковакуумная система предназначена для исследования поверхностей твердых и порошкообразных образцов методами электронной спектроскопии:

  • Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS)
  • ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия (UPS)
  • оже-электронная спектроскопия (AES)
  • сканирующая зондовая микроскопия (SPM)
  • дифракция электронной низкой энергии (LEED)
  • десорбция с программируемой температурой (TDP)

Один тип держателя образцов используется во всех камерах.

Система состоит из:

  • коммерческая спектроскопическая камера с анализатором для методов XPS, UPS, AES, EPS и TPD. Анализатор позволяет проводить точные XPS измерения с высоким разрешением, точное профилирование глубин, угловые измерения.
  • Камера переменной температуры STM/AFM предназначена для измерений с атомарным разрешением
  • Подготовительная камера оборудована AES/LEED спектрометром и тепловым десорбционным спектрометром. Источник бомбардировки электронами для получения тонких пленок, инструмент и ионный источник для очищения поверхности. Камера оборудована точным 4-осевым манипулятором, охлаждающим до 90К и нагревающим до 2200К.

Дополнительно система может быть оснащена:

  • Система загрузки, передачи и хранения образцов с устройствами для подготовки и очистки образцов
  • Сверхвысоковакуумный проточный реактор высокого давления
  • Система дозирования газов
  • Система измерения и управления давлением и температурой
  • Система управления вакуумом
  • Система измерения и управления температурой образцов.
  • Камера радиального распределения образцов
  • Камера хранения с возможностью нагрева и охлаждения
  • Быстрый нагрев в высоком и сверхвысоком вакууме