Сверхвысоковакуумная система Prevac PV128

Производитель: Prevac
Магнетронная распылительная система PV128 предназначена для точного и воспроизводимого нанесения слоев тонких пленок. Она позволяет проводить бомбардировку с магнитных и немагнитных мишеней.

Описание

Магнетронная распылительная система PV128 предназначена для точного и воспроизводимого нанесения слоев тонких пленок. Она позволяет проводить бомбардировку с магнитных и немагнитных мишеней.

Процесс магнетронного распыления полностью программируем в специальном программном обеспечении и через контроллер PLC.

Спецификации

Камера распыления оборудована многочисленными портами для диагностического и вспомогательного оборудования. Семь портов DN100CF, расположенных в нижней части камеры, заняты магнетронными источниками, которые подходят для DC распыления, RF/импульсного DC распыления или реактивного DC распыления металлических слоев.

Верхняя часть камеры установлена на шарнирах, что позволяет иметь большую внутреннюю рабочую зону.

Вспомогательные порты используются для установки следующих позиций:

  • Ионный источник
  • Устройство для измерения и контроля толщины слоя
  • Дополнительная система дозирования газа
  • Анализатор парциальных давлений газов
  • Насосная установка с TSP насосом
  • Загрузочный шлюз
  • Манипулятор

Двухосевой моторизированный манипулятор включает в себя станцию приема двух образцов.

Данная конструкция позволяет осуществлять распыление отдельно от каждого магнетрона или от всех магнетронов одновременно.