Контроль образцов c Микроскопом MX61A

Блок управления

mx61a




В блоке управления пользователю доступно 3 окна управления: OPERATOR, ENGINEER и FUNCTION. Окно OPERATOR обуславливает проведение микроскопических операций, окно ENGINEER содержит расширенные микроскопические операции, а окно FUNCTION позволяет устанавливать до 6 настроек наблюдения. Любые операции могут быть выведены на экран одним нажатием кнопки.
mx61a mx61amx61amx61amx61a

Установка оптимальных настроек наблюдения

mx61a




Апертурная диафрагма связана со значением текущего увеличения и переключателем метода наблюдения. Возможна настройка парфокальности объективов и других опций. Все настройки могут регулироваться с помощью блока управления. Также возможно сохранение  до 3 индивидуальных настроек для воссоздания идентичного наблюдения.







 

Ручная панель управления

mx61a




Ручная панель управления позволяет производить смену увеличения, смену метода наблюдения и т.д. После выбор метода наблюдения, захват изображения происходит автоматически в соответствии с установленными настройками. Используя ручную панель также возможно переключение между режимами автофокусировки TRACE и ONE SHOT, проводить точную настройку фокусировки, регулировать яркость источника света или передвигать предметный столик для замены образца.




Система автофокусировки (VIS)

Настройка автофокусировки осуществляется с помощью блока управления (ручная панель или ПО)

Моторизированный ДИК

При подключении опциональных моторизированных компонентов для ДИК, возможна автоматизация получения изображений. Позицию призмы можно настроить с помощью панели управления. Используются объективы серии MPLFLN с диапазоном увеличений от 5х до 150х.

Система подачи пластин AL110

Комбинация системы AL 110 с автоматической загрузкой кремниевых подложек диаметром до 200мм и моторизованного столика MS200 обеспечивает ускорение процесса инспекции и повышению точности результата.

Система цифрового отображения позволяет исследовать пластины с помощью монитора

Благодаря использованию камеры Olympus DP20, оператор может наблюдать живые изображения с высоким разрешением на мониторе.


                                            mx61a
                                                                                      Базовая конфигурация

mx61amx61a
                               Система подачи пластин                                                                        Система цифрового отображения