Семинар "Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники"

4 Марта 2015

АО "МосЭП" в 2015 году продолжает цикл семинаров по проблемам организации производства электронной компонентной базы (ЭКБ) с высокими технико-экономическими показателями.

Очередной семинар из вышеуказанного цикла на тему: "Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники" состоится в четверг, 26 марта 2015 года в 10-00 в здании АО "МосЭП" по адресу: Москва, ул. Космонавта Волкова, 12, 2-й этаж, комната 202.

Докладчиками будут специалисты: ООО "Микросистемы" (Россия).

Приглашаем Вас и Ваших специалистов, имеющих непосредственное отношение к решению этих вопросов, принять самое активное участие в работе семинара.

ПРОГРАММА СЕМИНАРА

"Электронно-лучевая литография и микроскопия высокого разрешения для производства, контроля и измерений в области микроэлектроники"

26  марта 2015 года   АО «Мосэлектронпроект»

Время

Тематические вопросы

Докладчик

10:00-10:05

Вступительное слово.

Представление докладчиков и программы

Бартенев Владимир Яковлевич,

зам. генерального директора

АО «МосЭП»

10:05-10:25

Введение.

Презентация группы компании Crestec, Sokol и Микросистемы

Лавров Дмитрий Анатольевич, ООО «Микросистемы»

10:25-11:25

Система электронно-лучевой литографии высокого разрешения CABL-9000 Crestec

H. Ohyi, президент компании Crestec

11:25-11:45

Электронно-лучевой литограф сверхвысокого разрешения CABL-UH110 Crestec

11:45-12:00

Многолучевая электронная литография

12:00-13:00

Обед

 

13:00-13:20

Оборудование Keyence для контроля дефектов и проведения высокоточных измерений в микроэлектронике

Музипов Эрик Рифатович

ООО «Микросистемы»

13:20-13:30

Лабораторное оборудование Hund (стереомикроскопия) для контроля микродефектов

13:30-13:45

Инспекционная микроскопия Olympus для контроля микродефектов.

13:45-14:00

Обновление парка микроскопов пользователя. Модернизация микроскопов современными цифровыми системами.

14:00-14:30

Рамановская 3-D микроскопия: разрешение, скорость и пропускная способность

Лавров Сергей Дмитриевич

ООО «Микросистемы»

14:30-15:00

Демонстрация работы цифрового микроскопа Keyence VHX-5000.

Музипов Эрик Рифатович

ООО «Микросистемы»

15:00-15:30

Обсуждение. Ответы на вопросы

 

 Контакты организатора АО "МосЭП"

Emai: baikov_sa@mosep.ru

Телефон: (495) 708-21-18

Схема проезда

АО «Мосэлектронпроект»

Адрес: 127299, Москва ул. Космонавта Волкова д.12

Проезд:

М Войковская, выход из первого вагона при движении из центра. При выходе из метро в подземном переходе повернуть налево, а затем направо по лестнице. Впереди остановка (напротив магазина «Свет») троллейбуса № 57, автобуса № 780 и маршрутные такси (подходит все). Доехать до остановки "Улица Космонавта Волкова" (4-ая остановка), которая находится примерно в 50 метрах, не доезжая до дома № 12 (маршрутку попросить остановить у дома № 12).

М Петровско-Разумовская, 10-20 мин пешком до ост. “Мост Октябрьской железной дороги”, далее тролейбус 57 или маршрутка 661 до остановки “платформа Красный Балтиец”

На электричке по Рижскому направлению РЖД: с Курскoго вокзала или из городов Истра и Волоколамск до платформы "Красный Балтиец" (далее 7 мин пешком).


Возврат к списку