UV Инспекционный микроскоп DM8000 для микроэлектроники

Инвертированный моторизованный микроскоп Leica DM8000 M
Разработано в Германии
• Диапазон увеличений: от 50х до 1500х;
• Принцип работы: отраженный свет, проходящий свет;
• Методы освещения: светлое поле, темное поле, наклонное освещение;
• Осветитель 1: светодиодный белого цвета 5600К;
• Осветитель 2: ультрафиолетовый 365 нм;
• Срок службы осветителя: 50 000 часов;
• Турель объективов: автоматизированная, 6 позиций;
• Тип объективов: планполуапоахроматические;
• Предметный столик: моторизованный, ход 200х200;
• Фокусировка: моторизованная с ручным дублированием, грубо/точно;
• Цифровая камера: 5 мегапикселей, 22 кадра в секунду, CCD сенсор 2/3“, USB3.0;
• Рабочая станция, монитор 24 дюйма;
• Программное обеспечение.

Наименование

Кол-во

1

Микроскоп Leica DM8000M моторизованный, проходящий/отраженный свет

1

2

Ось отраженного света моторизованная для микроэлектроники

1

3

Освещение видимый свет/ультрафиолет

1

4

C-Mount адаптер 1x HC f. 1"

1

5

Объектив HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD рабочее расстояние 0.2 мм

1

6

Рефлекторный модуль BF/UV (365 нм)

1

7

Цифровая камера Leica DMC4500

- USB3 connection  - 5Mpixel resolution  - 2/3" CCD sensor  - Pixel size 3.4 µm x 3.4 µm  Color filter RGB (Bayer) - Color depth 3x12 bits - Exposure time 1msec - 600sec  - A/D converter 14 bit  Dynamic range >59dB - Fast live image 1280x960pixel with up to. 18 frames per sec- Gain 1x - 10x - 25MHz/50MHz pixel clock

1

8

Комплект замены фильтров для УФ

1

9

Тринокулярный тубус 100/0 и 0/100 УФ LED

1

10

Окуляр HC-Plan 10x/25 BR. M (подстраиваемый)

2

11

Джойстик управления моторизованным столом SmartMove

1

12

Моторизованный предметный столик ручной с диапазоном хода 202х202 мм

1

13

Держатель пластин 150-200 мм, вращаемый, вакуумный прижим

1

14

Держатель масок 5х5”

1

15

Держатель масок 6х6”

 

16

Держатель масок 7х7”

 

17

Объектив HCX PL FL 5x/0.15 BD, рабочее расстояние: 12.2

1

18

Объектив HC PL FLUOTAR 10x/0.30 BD рабочее расстояние 11.0

1

19

Объектив HC PL FLUOTAR 20x/0.45 BD, рабочее расстояние 11.1 мм

1

20

Объектив HC PL FLUOTAR 50x/0.80 BD, рабочее расстояние 1.1 мм

1

21

Объектив HC PL FLUOTAR 100x/0.90 BD рабочее расстояние 1 мм

1

22

Рефлекторный модуль темного поля DF

1

23

Желтый фильтр LP515

1

24

Пылезащитный чехол

1

25

Ключ USB к программному обеспечению LAS

1

26

Программное обеспечение LAS X с модулями построения 3D, измерений, измерений на 3D, сканирования по реперным точкам

1

27

Рабочая станция (Core i7/16 Гб ОЗУ/1 Тб HDD/Win 10/), монитор 24 дюйма

1