Сверху над шапкой
  • О компании
  • Галерея
  • Статьи
  • Госзакупки
  • Прайс-лист
  • Контакты
  • ...
    +7 (495) 234-23-32
    Заказать звонок
    Оставить заявку
    info@microsystemy.ru
    microsystemy.ru
    Ваш город
    Москва
    Поставка микроскопов различных типов, оборудования для науки и промышленности
    Новый лейбл официальный дилер Olympus
    Каталог
    • Микроскопы
      Микроскопы
      • По области применения
        • Биология / Медицина
        • Материаловедение
        • Метрология
        • Обучение
        • Электронная микроскопия
        • Конфокальная микроскопия
      • По конструкции
        • Прямые
        • Инвертированные
        • Конфокальный лазерный
        • Стереоскопические
        • Цифровые
        • Цифровые сканнеры микропрепаратов
        • Электронный
        • Атомно-силовые
        • Исследовательские микроскопы
      • По методу исследования
        • Светлое поле
        • Темное поле
        • Фазовый контраст
        • Флуоресцентный
        • ДИК
        • Поляризация
      • По объекту исследования
        • Биология / медицина
        • Ветеринария
        • Геология +
        • Криминалистика
        • Металлы / материалы
        • Микроэлектроника
        • Реставрация
    • На складе
      На складе
      • Микроскопы в наличии
    • Сканеры и анализаторы
      Сканеры и анализаторы
      • Область применения
        • Биология / Медицина
        • Химия / физика
        • Рентген флуоресцентный анализ
      • Объект исследования
        • Микропрепараты
        • Металлы / минералы
    • Пробоподготовка
      Пробоподготовка
      • Класс оборудования
        • Шлифовальные станки для металлографии
    • Специальное оборудование
      Специальное оборудование
      • Тип
        • Камеры для микроскопов
        • Микротомы
        • Вакуумные установки
        • Литографы
        • Объективы для микроскопов
        • Антивибрационное оборудование
        • Лабораторное оборудование
    Компания
    • Поставки
    • Карта поставок
    • Гарантии
    • Общественная деятельность
    • Лицензии и сертификаты
    Бренды
    Услуги
    • Подбор микроскопа
    • Модернизация
    • Пусконаладка
      Пусконаладка
      • Пусконаладка микроскопов
      • Пусконаладка камер
      • Пусконаладка пробоподготовки
      • Пусконаладка лабораторных программ
    • Настройка
      Настройка
      • Настройка микроскопов
      • Настройка камер
      • Настройка пробоподготовки
      • Настройка лабораторных программ
    Госзакупки
    Новости и статьи
    • Новости
    • Мероприятия
    • Статьи
    Контакты
    Ещё
      microsystemy.ru
      Каталог
      • Микроскопы
        Микроскопы
        • По области применения
          • Биология / Медицина
          • Материаловедение
          • Метрология
          • Обучение
          • Электронная микроскопия
          • Конфокальная микроскопия
        • По конструкции
          • Прямые
          • Инвертированные
          • Конфокальный лазерный
          • Стереоскопические
          • Цифровые
          • Цифровые сканнеры микропрепаратов
          • Электронный
          • Атомно-силовые
          • Исследовательские микроскопы
        • По методу исследования
          • Светлое поле
          • Темное поле
          • Фазовый контраст
          • Флуоресцентный
          • ДИК
          • Поляризация
        • По объекту исследования
          • Биология / медицина
          • Ветеринария
          • Геология +
          • Криминалистика
          • Металлы / материалы
          • Микроэлектроника
          • Реставрация
      • На складе
        На складе
        • Микроскопы в наличии
      • Сканеры и анализаторы
        Сканеры и анализаторы
        • Область применения
          • Биология / Медицина
          • Химия / физика
          • Рентген флуоресцентный анализ
        • Объект исследования
          • Микропрепараты
          • Металлы / минералы
      • Пробоподготовка
        Пробоподготовка
        • Класс оборудования
          • Шлифовальные станки для металлографии
      • Специальное оборудование
        Специальное оборудование
        • Тип
          • Камеры для микроскопов
          • Микротомы
          • Вакуумные установки
          • Литографы
          • Объективы для микроскопов
          • Антивибрационное оборудование
          • Лабораторное оборудование
      Компания
      • Поставки
      • Карта поставок
      • Гарантии
      • Общественная деятельность
      • Лицензии и сертификаты
      Бренды
      Услуги
      • Подбор микроскопа
      • Модернизация
      • Пусконаладка
        Пусконаладка
        • Пусконаладка микроскопов
        • Пусконаладка камер
        • Пусконаладка пробоподготовки
        • Пусконаладка лабораторных программ
      • Настройка
        Настройка
        • Настройка микроскопов
        • Настройка камер
        • Настройка пробоподготовки
        • Настройка лабораторных программ
      Госзакупки
      Новости и статьи
      • Новости
      • Мероприятия
      • Статьи
      Контакты
      Ещё
        +7 (495) 234-23-32
        Оставить заявку
        Заказать звонок
        microsystemy.ru
        Телефоны
        +7 (495) 234-23-32
        Заказать звонок
        • Главная
        • Компании
          • Назад
          • Компании
          • Поставки
          • Карта поставок
          • Гарантии
          • Общественная деятельность
          • Лицензии и сертификаты
        • Каталог
          • Назад
          • Каталог
          • Микроскопы
            • Назад
            • Микроскопы
            • По области применения
              • Назад
              • По области применения
              • Биология / Медицина
              • Материаловедение
              • Метрология
              • Обучение
              • Электронная микроскопия
              • Конфокальная микроскопия
            • По конструкции
              • Назад
              • По конструкции
              • Прямые
              • Инвертированные
              • Конфокальный лазерный
              • Стереоскопические
              • Цифровые
              • Цифровые сканнеры микропрепаратов
              • Электронный
              • Атомно-силовые
              • Исследовательские микроскопы
            • По методу исследования
              • Назад
              • По методу исследования
              • Светлое поле
              • Темное поле
              • Фазовый контраст
              • Флуоресцентный
              • ДИК
              • Поляризация
            • По объекту исследования
              • Назад
              • По объекту исследования
              • Биология / медицина
              • Ветеринария
              • Геология +
              • Криминалистика
              • Металлы / материалы
              • Микроэлектроника
              • Реставрация
          • На складе
            • Назад
            • На складе
            • Микроскопы в наличии
          • Сканеры и анализаторы
            • Назад
            • Сканеры и анализаторы
            • Область применения
              • Назад
              • Область применения
              • Биология / Медицина
              • Химия / физика
              • Рентген флуоресцентный анализ
            • Объект исследования
              • Назад
              • Объект исследования
              • Микропрепараты
              • Металлы / минералы
          • Пробоподготовка
            • Назад
            • Пробоподготовка
            • Класс оборудования
              • Назад
              • Класс оборудования
              • Шлифовальные станки для металлографии
          • Специальное оборудование
            • Назад
            • Специальное оборудование
            • Тип
              • Назад
              • Тип
              • Камеры для микроскопов
              • Микротомы
              • Вакуумные установки
              • Литографы
              • Объективы для микроскопов
              • Антивибрационное оборудование
              • Лабораторное оборудование
        • Бренды
        • Прайс-лист
        • Новости и статьи
          • Назад
          • Новости и статьи
          • Новости
          • Мероприятия
          • Статьи
        • Галерея
        • Услуги
          • Назад
          • Услуги
          • Подбор микроскопа
          • Модернизация
          • Пусконаладка
            • Назад
            • Пусконаладка
            • Пусконаладка микроскопов
            • Пусконаладка камер
            • Пусконаладка пробоподготовки
            • Пусконаладка лабораторных программ
          • Настройка
            • Назад
            • Настройка
            • Настройка микроскопов
            • Настройка камер
            • Настройка пробоподготовки
            • Настройка лабораторных программ
        • Госзакупки
        • Контакты
        • +7 (495) 234-23-32
        Контактная информация
        123317, Москва, ул. 3-я Красногвардейская, 3
        info@microsystemy.ru
        Главная
        -
        Каталог
        -
        Специализированное оборудование
        МикроскопыСканеры и анализаторыПробоподготовкаВ наличии
        -Электронно-лучевой литограф CABL-UH130
        Поделиться

        Электронно-лучевой литограф CABL-UH130

        • Литограф CABL-UH110
        • Литограф CABL-UH110
        Crestec
        Характеристики
        Тип цены
        от
        Тип
        Литографы
        от 170 000 000 ₽
        Оставить заявку
        Наши менеджеры обязательно свяжутся с вами и уточнят условия заказа
        Электроннолучевой литограф 110 кВ для R&D и серийного производства для рисования топологии субмикронной и наноразмерной топологии полупроводниковых устройств
        Подробнее
        • Описание
        • Характеристики
        • Задать вопрос
        Описание

        Цена: по запросу


        Термоэмиссионное поле до 110 кВ.
        Литограф для R&D и серийного производства. Выполняет отрисовку субмикронной и наноразмерной топологии полупроводниковых устройств.

        Литограф имеет полное инженерное обеспечение и контроль внутренних параметров системы – 2-х зонный модуль контроля и поддержания стабильной рабочей температуры с  системой  кондиционирования, модуль источника бесперебойного питания, 2-х уровневый активный антивибрационный стол, автоматический модуль загрузки образцов, высокоточный X-Y-Z сканирующий стол с активной системой автофокуса и контроля положения.

        Обеспечивает просмотр топологии в режиме СЭМ.

        Электронная оптическая система обеспечивает работу в большом диапазоне ускоряющих напряжений

        Компьютерная система управления электронно-оптической системой литографа (EOS), стабильная электронная пушка и большой набор специальных программных продуктов обеспечивают полную гарантию Пользователю в изготовлении ультратонких структур для приложений нового поколения оптико-коммуникационных устройств, МЭМС/НЭМС, датчиков в областях  микроэлектроники, оптоэлектроники и нанотехнологий.


        Все литографы компании Crestec


        Дополнительно
        Gun/Acceleration Voltage TFE(ZrO/W emitter) - 25-110kV (5 kV step)
        Beam size/min. width - 1,7nm
        Exposure Area: - 125mm x 125mm or 150mm.dia.
        Scanning method  Vector scan(X,Y), Vector scan(r,theta) standard
          Raster scan, spot scan(option) Field size modulation, Axial symmetrical pattern, RAM DAC digital spot writing, 3D writing method
        Min. address size  0.0012nm (with Field Size Mod. Option)
        Scan rate, dot.:  
        Vector Scanning: - 20000 x 20000       
        (Four methods selectable) - 60000 x 60000
        (20bit DAC) - 240000 x 240000
          - 960000 x 960000
        Raster Scanning Option:  
        (Selectable) (14bit DAC) - 10000 x 10000
        Scanning Rate:  
        Vector Scanning - Time Resolution
        (Analog Scanning): - 0.01 micro sec/pixel
        (Digital Scanning): - 0.05 micro sec/pixel
        Stitching Accuracy: - 35nm   (Mean+3sigma, 120 micrometer .sq field)
          - 20nm (Mean+2sigma, 60 micrometer .sq field)
        Overlay Accuracy:

        - 40nm   (Mean+3sigma, 120 micrometer .sq field)

        Workpiece Sizes: - Snatches, 50, 100, 150 dia. Wafer
          4, 5, inch square Mask Blank Option

                         

        • CAD software original CAD(standard), GDSⅡconversion(option),
        • DXFC-01 conversion(option), proximity effect CPEC-01
        • OS Windows XP
        Задать вопрос
        Вы можете задать любой интересующий вас вопрос по товару или работе магазина.

        Наши квалифицированные специалисты обязательно вам помогут.
        Crestec
        Все товары категории
        Все товары бренда Crestec

        Электронно-лучевой литограф CABL-UH130 в статьях

        Все статьи
        Электронный литограф Crestec
        Электронный литограф Crestec
        16 февраля 2021
        Компания
        О компании
        Продукция
        Гарантии
        Карта поставок
        Поставки
        Контакты
        Каталог
        Бренды
        Микроскопы
        Сканеры и анализаторы
        Пробоподготовка
        Специализированное оборудование
        Информация
        Новости
        Мероприятия
        Статьи
        Галерея
        Наши контакты
        +7 (495) 234-23-32
        info@microsystemy.ru
        123317, Москва, ул. 3-я Красногвардейская, 3
        2023 © «ООО Микросистемы»
        Пользовательское соглашение