Сверхвысоковакуумная система Prevac PV128
Цена: по запросу
Описание
Магнетронная распылительная система PV128 предназначена для точного и воспроизводимого нанесения слоев тонких пленок. Она позволяет проводить бомбардировку с магнитных и немагнитных мишеней.
Процесс магнетронного распыления полностью программируем в специальном программном обеспечении и через контроллер PLC.
Спецификации
Камера распыления оборудована многочисленными портами для диагностического и вспомогательного оборудования. Семь портов DN100CF, расположенных в нижней части камеры, заняты магнетронными источниками, которые подходят для DC распыления, RF/импульсного DC распыления или реактивного DC распыления металлических слоев.
Верхняя часть камеры установлена на шарнирах, что позволяет иметь большую внутреннюю рабочую зону.
Вспомогательные порты используются для установки следующих позиций:
- Ионный источник
- Устройство для измерения и контроля толщины слоя
- Дополнительная система дозирования газа
- Анализатор парциальных давлений газов
- Насосная установка с TSP насосом
- Загрузочный шлюз
- Манипулятор
Двухосевой моторизированный манипулятор включает в себя станцию приема двух образцов.
Данная конструкция позволяет осуществлять распыление отдельно от каждого магнетрона или от всех магнетронов одновременно.
Обратная связь
Оформить заказ на нашем сайте легко. Просто добавьте выбранные товары в лист запроса или оставьте заявку, а затем перейдите на страницу Запроса, проверьте правильность заказанных позиций и нажмите кнопку «Оформить запрос».
Если не нашли подходящее оборудование, оставьте нам заявку, и наши специалисты вам помогут подобрать подходящее оборудование.
Оставить заявку
Функция «Оставить заявку» позволяет вам не проходить всю процедуру оформления запроса самостоятельно. Вы заполняете форму, и через короткое время вам перезвонит менеджер. Он уточнит все условия запроса, ответит на вопросы, касающиеся качества товара, его особенностей.