Сверхвысоковакуумная система Prevac PV128
Цена: по запросу
Описание
Магнетронная распылительная система PV128 предназначена для точного и воспроизводимого нанесения слоев тонких пленок. Она позволяет проводить бомбардировку с магнитных и немагнитных мишеней.
Процесс магнетронного распыления полностью программируем в специальном программном обеспечении и через контроллер PLC.
Спецификации
Камера распыления оборудована многочисленными портами для диагностического и вспомогательного оборудования. Семь портов DN100CF, расположенных в нижней части камеры, заняты магнетронными источниками, которые подходят для DC распыления, RF/импульсного DC распыления или реактивного DC распыления металлических слоев.
Верхняя часть камеры установлена на шарнирах, что позволяет иметь большую внутреннюю рабочую зону.
Вспомогательные порты используются для установки следующих позиций:
- Ионный источник
- Устройство для измерения и контроля толщины слоя
- Дополнительная система дозирования газа
- Анализатор парциальных давлений газов
- Насосная установка с TSP насосом
- Загрузочный шлюз
- Манипулятор
Двухосевой моторизированный манипулятор включает в себя станцию приема двух образцов.
Данная конструкция позволяет осуществлять распыление отдельно от каждого магнетрона или от всех магнетронов одновременно.
