Микроскопы Keyence серии VKX100 / VKX200
В серии VKX100 / VKX200 реализован алгоритм полностью автоматических измерений.
Программное обеспечение VKX100 / VKX200 легко в использовании, имеет интуитивно-простой в освоении интерфейс и позволяет:
- измерять высоту, ширину, поперечное сечение, угол или радиус любого выбранного Пользователем профиля в разрезе
- выполнять бесконтактное измерение в XYZ координатах, измерения в 3D, профилометрия, неровности любой линии, а также шероховатости с большой точностью на выбранном участке объекта
- измерить объем, площадь поверхности и отношение участка к площади поверхности объектов; проводить автоматические измерения высоты и ширины структур.
- сравнивать наложением изображения с измерением различий объектов
Непревзойденная четкость при наблюдении. Возможность проведения сфокусированного наблюдения с потрясающей чёткостью
Получение полностью сфокусированного изображения на увеличениях от 200х до 24000х* при разрешениях, недоступных оптическим микроскопам, стало возможно благодаря сканированию всей поверхности цели коротковолновым лазером.
Измерение поверхностей любой формы. Программа для быстрого измерения обеспечивает гибкость анализа
С помощью программы VK-Analyzer возможно измерять высоту, ширину, профиль поперечного сечения, угол или радиус кривизны любой заданной прямой или кривой профиля поперечного сечения.
Широкоформатное сканирование. Функция WIDE-scan позволяет легко и быстро сшивать изображения и проводить измерения на большей площади
Высокое увеличение позволяет пользователю проводить измерения с высокой точностью. Однако с большим увеличением сокращается поле зрения, что мешает понять какую часть объекта Вы видите, и где она находится. Функция WIDE-Scan позволяет быстро и легко создавать изображения с широким полем зрения с помощью сшивания нескольких изображений.
|
Модель |
Микроскоп |
VK-X210 |
VK-X110 |
VK-X105 |
|||||||||
|
Контроллер |
VK-X200K |
VK-X100K |
VK-X100K |
||||||||||
|
Увеличение на 15” мониторе |
200x |
400x |
1000x |
3000x |
200x |
400x |
1000x |
2000x |
100x |
200x |
400x |
1000x |
|
|
Увеличение объектива |
10x |
20x |
50x |
150x |
10x |
20x |
50x |
100x |
5x |
10x |
20x |
50x |
|
|
Диапазон наблюдения/ измерения |
По горизонтали (H): мкм |
1350 |
675 |
270 |
90 |
1350 |
675 |
270 |
135 |
2700 |
1350 |
675 |
270 |
|
По вертикали (V): мкм |
1012 |
506 |
202 |
67 |
1012 |
506 |
202 |
101 |
2025 |
1012 |
506 |
202 |
|
|
Рабочее расстояние: мм |
16.5 | 3.1 | 0.35 | 0.2 | 16.5 | 3.1 | 0.54 | 0.3 | 22.5 | 16.5 | 3.1 | 0.54 | |
|
Числовая апертура (N.A.) |
0.3 | 0.46 | 0.95 | 0.95 | 0.3 | 0.46 | 0.8 | 0.95 | 0.13 | 0.3 | 0.46 | 0.8 | |
|
Оптический зум |
1x-8x |
||||||||||||
|
Общее увеличение |
200x - 24000x |
200x - 16000x |
100x - 8000x |
||||||||||
|
Оптическая система для наблюдения/измерения |
Конфокальная оптическая система с пинхолом |
||||||||||||
|
Измерение по вертикали |
Диапазон измерения |
7 мм |
7 мм |
7 мм |
|||||||||
|
Разрешение дисплея |
0.0005 мкм | 0.005 мкм | 0.005 мкм | ||||||||||
|
Повторяемость σ |
0.012 мкм | 0.02 мкм | 0.02 мкм | ||||||||||
|
Измерение по горизонтали |
Разрешение дисплея |
0.001 мкм |
0.01 мкм |
0.01 мкм | |||||||||
|
Повторяемость 3σ |
0.02 мкм |
0.03 мкм | 0.05 мкм | ||||||||||
|
Разрешение изображений |
Количество пикселей |
2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64 |
|||||||||||
|
Для ч/б изображений |
16-бит |
||||||||||||
|
Для цветных изображений |
8-бит на каждый RGB канал |
||||||||||||
|
При измерении высоты |
24-бит |
21-бит |
21-бит |
||||||||||
|
Частота кадров |
Сканирование поверхности |
4 Гц - 120 Гц |
|||||||||||
|
Линейное сканирование |
7900 Гц |
||||||||||||
|
Автоматические функции |
AAG (Автоусиление), Автофокус, Автонастройка верхнего/нижнего порогов, Double Scan настройка яркости |
||||||||||||
|
Характеристики лазера |
Длина волны |
Фиолетовый лазер, 408 нм |
Красный полупроводниковый лазер, 658 нм |
||||||||||
|
Мощность |
Class 2 Laser Product (IEC 60825-1, FDA (CDRH) Part1040.10 | ||||||||||||
|
Класс лазера |
Class 2 Laser Product (IEC 60825-1, FDA (CDRH) Part1040.10) |
||||||||||||
|
Светопринимающий элемент |
PMT (Фотоэлектронный умножитель) |
||||||||||||
|
Источник света для оптического наблюдения |
Лампа |
100 Вт галогенная лампа |
|||||||||||
|
Параметры цветной камеры для оптических наблюдений |
Формирующий изображение элемент |
1/3" Цветная CCD матрица |
|||||||||||
|
Разрешение |
Сверхвысокое разрешение (3072×2304) |
||||||||||||
|
Автонастройка |
Усиление, Скорость затвора |
||||||||||||
|
Блок обработки данных |
ПК, поставляемый KEYENCE c VK-X (ОС: Windows 7 Professional Edition) 7. |
||||||||||||
|
Источник питания |
Напряжение |
~100 ~ 240 В, 50/60Гц |
|||||||||||
|
Потребляемый ток |
450 ВА макс. |
||||||||||||
|
Вес |
Микроскоп |
Прим. 26 кг (Измерительная головка: прим. 10 кг) |
Примx. 25 кг (Измерительная головка: прим. 8.5 кг) |
Прим. 25 кг (Измерительная головка: прим. 8.5 кг) |
|||||||||
|
Контроллер |
Прим. 11 кг |
||||||||||||
Обратная связь
Характеристики
|
Тип
|
Конфокальный лазерный |
|
Область применения
|
Материаловедение, Метрология |
|
Метод исследования
|
Светлое поле, Флуоресцентный |
|
Источник света
|
Галогенная лампа, Ртутная лампа |
|
Объект исследования
|
Металлы / материалы, Микроэлектроника |
