Краткое введение в метрологию поверхности - Микросистемы

Множество поверхностей разрабатываются с учетом наличия функциональных параметров. Согласно требованиям применения, поверхность должна иметь конкретные топографические особенности. В частности, структурные параметры неразрывно связаны с функциональными характеристиками.

Развитие метрологии поверхности традиционно основано на тактильных методах, осуществляющих сбор информации посредством физического контакта с поверхностью. Несмотря на то, что данный тип анализа подходит для большинства применений, данные методы требуют очень много времени и могут повредить образец. К тому же, форма и размер иглы могут лимитировать функционал устройства.

Благодаря последним разработкам в технологиях измерения, существует множество оптических методов получения характеристик поверхности. По сравнению с профильными измерениями поверхности (тактильные методы), оптические методы позволяет получать более надежную и достоверную информацию.

Главной задачей подобных систем измерения топографии является получение пространственных координат точек поверхности. Информация, полученная с помощью данных координат, затем используется для получения 3D модели формы и текстуры неизвестных объектов.